1,、 潔凈車間—加工的精密化

　　現(xiàn)代產(chǎn)品的加工精度已經(jīng)進(jìn)入亞微米量級(jí)，而且正在向更小的量級(jí)發(fā)展：利用分子束外延技術(shù)已可按一個(gè)一個(gè)原子層來生長(zhǎng)單晶材料,；利用離子束刻蝕技術(shù)也可以對(duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行一個(gè)一個(gè)原子的刻蝕剝離等等,。因此，科學(xué)界提出了在本世紀(jì)末可能進(jìn)行原子級(jí)加工的設(shè)想,，即加工的幾何圖形寬度可以小到幾個(gè)原子的線度。

　　2,、 潔凈車間—產(chǎn)品的微型化

　　原來體積為幾千立方厘米的電子裝配件,，現(xiàn)在縮減到零點(diǎn)幾立方厘米，其中：集成電鍍的圖形距已小到不足1um,，一個(gè)電子元件的二氧化硅保護(hù)膜厚0.5um,，光致抗蝕劑厚度只有0.2um，而各層甚至只有0.03um,。

　　3,、 潔凈車間—產(chǎn)品的高純度(或高質(zhì)量)

　　由過去認(rèn)為很純的“化學(xué)純”進(jìn)入今天“電子純”、“超純”時(shí)代的藥品,、試劑，以及各種超純材料,，都是在高純度基礎(chǔ)上才能使原料充分發(fā)揮其固有特性或者呈現(xiàn)出新的特性。

　　4,、潔凈車間—產(chǎn)品的高可靠性

　　高可靠性對(duì)于電子化、自動(dòng)化時(shí)代的產(chǎn)品,，對(duì)于確保人的安全的無菌操作，對(duì)于分子生物學(xué)的遺傳工程都有特殊重要的意義,。