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廣州廣電計量檢測股份股份有限公司
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聚焦離子束技術(shù)(FIB)的定義與注意事項

2021年05月04日舉報編輯打印
聚焦離子束技術(shù)(FIB)的定義與注意事項
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FIB測試  聚焦離子束技術(shù)  FIB  
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廣電計量可以做AEC-Q-100認證報告,AEC-Q-101認證報告,AEC-Q-102認證報告, AEC-Q-104認證報告,AEC-Q-200認證報告,,元器件篩選,破壞性物理分析,,NVH測試

廣州廣電計量檢測股份有限公司(股票簡稱:廣電計量,股票代碼:002967)始建于1964,是原信息產(chǎn)業(yè)部電子602計量站,經(jīng)過50余年的發(fā)展,現(xiàn)已成為一家全國化,、綜合性的國有第三方計量檢測機構(gòu),專注于為客戶提供計量、檢測,、認證以及技術(shù)咨詢與培訓(xùn)等專業(yè)技術(shù)服務(wù),在計量校準,、可靠性與環(huán)境試驗、電磁兼容檢測等多個領(lǐng)域的技術(shù)能力及業(yè)務(wù)規(guī)模處于國內(nèi)**水平.

1,、聚焦離子束技術(shù)(FIB)的定義

聚焦離子束技術(shù)Focused Ion beam,,FIB)是利用電透鏡將離子束聚焦成非常小尺寸的離子束轟擊材料表面,實現(xiàn)材料的剝離,、沉積,、注入、切割和改性,。隨著納米科技的發(fā)展,,納米尺度制造業(yè)發(fā)展迅速,而納米加工就是納米制造業(yè)的核心部分,,納米加工的代表性方法就是聚焦離子束,。近年來發(fā)展起來的聚焦離子束技術(shù)FIB)利用高強度聚焦離子束對材料進行納米加工,配合掃描電鏡(SEM)等高倍數(shù)電子顯微鏡實時觀察,,成為了納米級分析,、制造的主要方法,。目前已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路修改,、離子注入、切割和故障分析等,。

2.原理

聚焦離子束(Focused Ion beam, FIB)的系統(tǒng)是利用電透鏡將離子束聚焦成非常小尺寸的顯微切割儀器,,目前商用系統(tǒng)的離子束為液相金屬離子源(Liquid Metal Ion Source,LMIS),金屬材質(zhì)為鎵(Gallium, Ga),,因為鎵元素具有低熔點,、低蒸氣壓、及良好的抗氧化力,;典型的離子束顯微鏡包括液相金屬離子源,、電透鏡、掃描電極,、二次粒子偵測器,、5-6軸向移動的試片基座、真空系統(tǒng),、抗振動和磁場的裝置,、電子控制面板,、和計算機等硬設(shè)備,外加電場于液相金屬離子源,,可使液態(tài)鎵形成細小尖端,,再加上負電場(Extractor) 牽引尖端的鎵,而導(dǎo)出鎵離子束,,在一般工作電壓下,,尖端電流密度約為110-8 Amp/cm2,以電透鏡聚焦,,經(jīng)過一連串變化孔 (Automatic Variable Aperture, AVA)可決定離子束的大小,,再經(jīng)過二次聚焦至試片表面,利用物理碰撞來達到切割之目的

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