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技術(shù)參數(shù)
技術(shù)參數(shù) |
Ra,、Rz=Ry(JIS)、Rq,、Rt=Rmax,、Rp、Rv,、R3z,、R3y、Rz(JIS),、Rs,、Rsk、Rku,、Rsm,、Rmr 增加Rpc、Rk,、 Rpk,、Rvk、Mr1,、Mr2 |
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傳感器 |
測量原理 |
電感式 |
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測量范圍 |
Z軸(垂直)160μm / X軸(水平)17.5mm(0.71inch) |
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針尖半徑 |
5μm針尖半徑 |
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針尖材料 |
天然金剛石 |
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觸針測力 |
4mN |
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觸針角度 |
90° |
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導(dǎo)頭縱向半徑 |
45mm |
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**驅(qū)動行程 |
17.5 |
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量程和分辨力 |
±20μm |
0.01μm |
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±40μm |
0.02μm |
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±80μm |
0.04μm |
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濾波器 |
RC,、PC-RC、Gauss,、D-P |
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取樣長度 |
0.25mm,、0.8mm、2.5mm |
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評定長度 |
1L~5L(可選,,L為取樣長度) |
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示值誤差 |
±10% |
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示值重復(fù)性 |
≤6% |
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工作環(huán)境 |
溫度:-20oC~40oC
相對濕度:<90%RH
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外型尺寸及重量 |
主機:158x63.5x46mm,,約300g; |
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電源 |
內(nèi)置電池:鋰離子充電電池,;
電源適配器:用DC5V,800mA充電器充電
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