本公司百級(jí)無(wú)塵烤箱系用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵,、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤,、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS,、IS、醫(yī)藥,、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén),;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥,、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn),。
· 在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到 Class 100,;
· 全周氬焊,,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,,防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵,;
· 采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng) H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(mén)(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng),,過(guò)濾效率 99.99%,,Class 100,排氣口:3"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門(mén));
· 強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式,。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu),,溫度場(chǎng)分布均勻,智能 P.I.D 溫控系統(tǒng),,得到**溫度控制精度