采用低溫等離子體分解油霧、廢氣等污染介質(zhì)時(shí),，等離子體中的高能離子起決定性的作用,。流星雨壯的高能離子與介質(zhì)內(nèi)分子（原理）發(fā)生非彈性碰撞，將能量轉(zhuǎn)化成基態(tài)分子（原子）的內(nèi)能,，發(fā)生激發(fā),、離解、電離等一系列過程使污染介質(zhì)處于活化狀態(tài),。污染節(jié)制在等離子體的作用下‘產(chǎn)生活性自由基’活化后的污染物分子經(jīng)過等離子體定向連化學(xué)反應(yīng)后被脫除,。當(dāng)離子平均能量超過污染介質(zhì)中化學(xué)鍵結(jié)合能時(shí)，分子鍵斷裂,，污染介質(zhì)分解,，并在等離子發(fā)生器吸附場(chǎng)的作用下被收集。在低溫等離子體中,，可能發(fā)生各類的化學(xué)反應(yīng),，這主要取決于等離子的平均能量、離子密度,、氣體溫度,、污染物介質(zhì)內(nèi)分子濃度及共存的介質(zhì)成份。