LED無塵車間生產環(huán)境要求：

潔凈室的空氣潔凈度等級以及潔凈室形式應根據(jù)生產工藝對生產環(huán)境的要求確定,。

 當出現(xiàn)下列情況之一時,，空氣凈化調節(jié)系統(tǒng)宜分開設置：

    2 溫濕度基數(shù)和允許波動范圍差別大的潔凈室,；

    3 凈化空調系統(tǒng)和一般空調系統(tǒng)；

    4 潔凈室內工藝設備發(fā)熱,、散濕量相差懸殊的潔凈室；

    5 系統(tǒng)風量過大的凈化空調系統(tǒng),。

換鞋間應設置不10次／h的全室排風系統(tǒng),，排風口宜設置在下部；換鞋柜宜設置局部排風措施,；一次更衣間宜設置不5次／h的全室排風系統(tǒng),。

凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)的新風應進行集中處理,，新風處理機組的設置應符合下列規(guī)定：

    1 送風機應采取自動調速措施；

    2 空氣宜經過粗效,、中效,、高效過濾器三級處理；

    3 新風處理機組應有良好的氣密性,，在工作壓力下的漏風率不得大于1％,。

光刻間凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)的循環(huán)風宜采用風機過濾器機組和干冷卻盤管處理，其他潔凈室凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)的循環(huán)風宜采用循環(huán)空氣處理機組處理,。

金屬有機化合物化學氣相沉積間的凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)應獨立設置,。

循環(huán)空氣處理機組宜采用干冷卻方式處理空氣。

循環(huán)空氣處理機組的風機應采取自動調速措施,。

空調加熱,、加濕系統(tǒng)的設計應利于工廠余熱的利用。

凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)的新風吸入口位置,，應遠離排放有害物或可燃物的排氣口,。

上技術夾層凈高應按照空調設備、管線布置,、潔凈氣流控制等因素確定,，不宜2m。

發(fā)光二極管生產宜包括外延片生長,、管芯(芯片)制造,、管芯(芯片)封裝三部分。