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薄膜晶體管液晶顯示器廠房設施要求:
薄膜晶體管液晶顯示器工廠設計應滿足薄膜晶體管液晶顯示器生產(chǎn)所需要超大空間潔凈環(huán)境的要求。
生產(chǎn)的主要工序應完整、配套,陣列,、彩膜和成盒工序段宜設置在同一廠區(qū)內(nèi)。
凈化空調(diào)系統(tǒng)分開設置的原則除應符合現(xiàn)行國家標準《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》的有關規(guī)定外,,還應符合下列規(guī)定:
1 溫,、濕度基數(shù)差別大的潔凈室應分開設置凈化空調(diào)系統(tǒng);
2 溫,、濕度允許波動范圍差別大的潔凈室應分開設置凈化空調(diào)系統(tǒng),。
凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的新風應集中進行熱、濕,、凈化處理,,新風處理機組的設置應符合下列規(guī)定:
1 送風機應采取變頻措施;
2 空氣應經(jīng)過粗效,、中效,、高效過濾器三級處理;
3 陣列,、彩膜,、成盒廠房應設置備用新風處理機組;
4 陣列,、彩膜,、成盒廠房的電機與風機應采用直聯(lián)驅(qū)動方式,且有良好的減振措施,;
5 新風的吸入口位置應遠離排放有害物或可燃物的排氣口,;
6 加濕方式宜采用溫水淋水室;
7 應有良好的氣密性,,在工作壓力下的漏風率不得大于1%,。
陣列、彩膜,、成盒廠房凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的循環(huán)風宜采用風機過濾器機組和干冷卻盤管處理,,模組和背光源廠房凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的循環(huán)風宜采用循環(huán)空氣處理機組處理。
干冷卻盤管的設置應符合下列規(guī)定:
1 迎面風速不宜超過2.5m/s,;
2 空氣側(cè)阻力不應大于40Pa,;
3 布置在同一潔凈室(區(qū))內(nèi)的干冷卻盤管,在工作條件下空氣側(cè)阻力相差不得大于10%,;
4 冷凍水的供水溫度宜高于潔凈室(區(qū))內(nèi)的露點溫度,;
5 干冷卻盤管應設置排水系統(tǒng),非落地安裝的干冷卻盤管應設置積水盤,。
風機過濾器機組的設置應符合下列規(guī)定:
1 應根據(jù)空氣潔凈度等級和送風量選用,;
2 宜采用直流調(diào)速電機;
3 機組應采取消音措施,,消音裝置不得采用產(chǎn)塵材料,,且其燃燒性能等級應達到B級;
4 潔凈度等級為7級~9級的潔凈室(區(qū))不宜采用聚四氟乙烯濾料的過濾器,;
5 應便于安裝,、維修及過濾器更換。
當采用新風處理機組+風機過濾器機組+干冷卻盤管的凈化空調(diào)系統(tǒng)時,,潔凈區(qū)各部位的風速應符合下列規(guī)定:
1 上技術夾層不應大于4m/s,;
2 下技術夾層不應大于3m/s;
3 回風夾道不應大于4m/s,。
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