特征：

測(cè)量范圍：450 x 450 x 200 mm
65公斤承載力
亞微米的光柵尺分辨率
平臺(tái)移動(dòng)速度X-Y: 150 mm/秒; Z: 100 mm/秒
誤差映射：在XY平面非線性二維糾錯(cuò)
超精密雙重放大光學(xué)系統(tǒng)
可編程多色環(huán)形燈(PRL)選項(xiàng)
TTL激光選項(xiàng),，具有自動(dòng)聚焦和掃描功能
的圖像處理性能,，快速,、**,、穩(wěn)健
雙通道,，數(shù)字式,，1.4兆像素的單色相機(jī); 4:1的比例
次像素精度： 1/10 - 1/50 pixel
強(qiáng)大的測(cè)量軟件和數(shù)據(jù)分析工具可供選擇
平均無(wú)故障工作時(shí)間 MTBF ≥ 8,000 小時(shí)

Benchmark影像測(cè)量?jī)x的應(yīng)用范圍包括：

SMT/電子元?dú)饧?/span>
PCB板和Stencil
SMT元件貼裝 
錫膏/環(huán)氧數(shù)脂膠點(diǎn)
芯片載體和托盒
噴墨打印機(jī)墨盒
引線框,，引線接合,，柔性線路板,，連接器
光纖組件和MEMs

數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
Wafer carriers and row bar pallets
滑塊和懸臂組(HGA)
懸置件

精密注塑和機(jī)加工件
模具和刀具
燃料噴射部件
手表組件