低溫泵又叫低溫真空泵、冷泵,、冷凝泵,。低溫泵的冷源可以是低溫液體(液氮或液氦),也可以是低溫制冷機(jī),。這里介紹制冷機(jī)型低溫泵,,這種低溫泵的制冷機(jī)在兩個(gè)溫度級(jí)上產(chǎn)生制冷,分別冷卻兩個(gè)低溫表面,,被抽的氣體就被冷卻在低溫表面上,。制冷機(jī)的通常工作在 范圍,它用來(lái)冷卻靠外的冷板,,這個(gè)外部冷板既為 冷的冷板充當(dāng)防輻射的 ,,同時(shí)用來(lái)冷卻擋在泵入口處的百葉窗(障板),當(dāng)水蒸汽碰到障板上時(shí)就被冷凍在它上面,,這極像液氮冷阱冷凍水蒸氣的情形,。制冷機(jī)的二級(jí),即 冷的,,通常工作在用來(lái)冷卻靠?jī)?nèi)的冷板,,它冷凍穿過(guò)百葉窗的。不能被這一溫度冷凍的氣體被位于冷板內(nèi)部的活性炭吸附,。