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一. 設(shè)備簡介
半導體超純水設(shè)備是應(yīng)用于半導體生產(chǎn)零件清洗的超純水設(shè)備,,需要符合特定的用水水質(zhì)標準,半導體超純水設(shè)備出水水質(zhì)要符合美國ASTM純水水質(zhì)標準、中國電子工業(yè)電子級水質(zhì)技術(shù)標準(18MΩ.cm,、15MΩ.cm,、10MΩ.cm、2MΩ.cm,、0.5MΩ.cm),、半導體工業(yè)用純水指標、集成電路水質(zhì)標準。 宏潔水務(wù)在滿足用戶用水標準的基礎(chǔ)上,,在設(shè)備系統(tǒng)中水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng),、水泵均設(shè)有壓力保護裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表,、電氣采用PLC可編程控制器,,**做到了無人職守,同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求的方法,,使設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較,,具有更高的性價比和設(shè)備可靠性。
二. 設(shè)計標準及依據(jù)
1. 根據(jù)用戶提供的詳細水質(zhì)報告“量身定制”,。
2. 水處理設(shè)備技術(shù)條件《JB/T 2932-1999》
3. 反滲透水處理設(shè)備標準《CJ/T119-2000》
4. 低壓開關(guān)設(shè)備和控制設(shè)備成套裝置《IEC439-1 》
5. 實驗室超純水技術(shù)指標標準《GB6682-2008 》
6. 電子級超純水規(guī)格《GB/T11446.1-1997》
三. 工藝流程
1,、 原水-原水加壓泵-多介質(zhì)過濾器-活性炭過濾器-軟水器-精密過濾器-級反滲透-PH調(diào)節(jié)-中間水箱-級反滲透-純化水箱-純水泵-EDI系統(tǒng)-超純水箱-純水泵-拋光裝置-終端超濾-用水點
四. 設(shè)計特點
1. 系統(tǒng)采用全自動控制(同時亦可采用手動控制),系統(tǒng)運行時可設(shè)定自動反洗,、再生程序,;
2. 各單元接線均在工廠內(nèi)完成,減少安裝調(diào)試時間,;
3. **反滲透和二級反滲透設(shè)有回流管道,,反滲透設(shè)備設(shè)有化學清洗裝置;
4. 管道一般采用UPVC材質(zhì),;
5. 集成控制系統(tǒng)和集成儀表系統(tǒng)等,,方便操作管理;
6. RO膜定時清洗 具有開機和定時清洗RO
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