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無論待測樣品是大的還是小的,,測量內(nèi)容是簡單的還是復(fù)雜的,,測量人員是新手還是專家,,奧林巴斯STM7系列就是能滿足您需求,、為您量身打造的測量顯微鏡產(chǎn)品,。
優(yōu)異的光學(xué)性能
STM7系列采用了當(dāng)前光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。因此,,觀察到的圖像具有高分辨率和高對比度,,此外,像差也被消除,,以確保實(shí)現(xiàn)對微小細(xì)節(jié)的高精度測量,。
提供操作友好、高精度的3軸測量
隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化,,高精度測量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測量,,而且Z軸方向的高精度測量也成為必須。奧林巴斯成為一家成功開發(fā)了測量顯微鏡用采用主動(dòng)反射,、共聚焦方法的自動(dòng)聚焦系統(tǒng)的公司,,以此響應(yīng)了這種與日俱增的需求。
嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠
奧林巴斯通過一個(gè)嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)控制測量顯微鏡的**度,。并且在安裝系統(tǒng)時(shí)奧林巴斯也提供了可追溯的校準(zhǔn)服務(wù),。
適合多種樣品的載物臺
STM7的特色就是配備有一個(gè)可以測量大型樣品(包括300 mm晶圓和印刷電路板等)的300 mm×300 mm的載物臺。7提供了相同X和Y軸測量行程的大載物臺,,這樣對于大樣品就不需要旋轉(zhuǎn)樣品,。由于X和Y軸的測量行程都比較長,可以將多個(gè)樣品排列在載物臺上,,實(shí)現(xiàn)更有效的測量。
具有優(yōu)異的重復(fù)性的便捷,、**的聚焦系統(tǒng)
通過將圖案投影在視場范圍內(nèi),,由操作者確認(rèn)上下圖案的重合情況,奧林巴斯的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了重復(fù)性高的高度測量操作,。普通的目測觀察進(jìn)行高度測量時(shí),,即使是看上去非常清晰的已經(jīng)合焦的圖像,也會出現(xiàn)微小誤差,。而使用STM7的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng),,只需匹配標(biāo)記便可進(jìn)行測量,,因此減少了操作者的主觀性對測量結(jié)果造成的影響。
可以消除測量過程中主觀性影響的便捷功能
自動(dòng)邊緣檢測這個(gè)功能檢測樣品的邊緣,,自動(dòng)獲取樣品的坐標(biāo)并測量,。因此,操作者不再需要**坐標(biāo),,這較大程度地降低了操作者的主觀性對測量的影響,。自動(dòng)邊緣檢測的另外一個(gè)特色是具有定時(shí)功能,實(shí)現(xiàn)了到規(guī)定的時(shí)間后自動(dòng)獲取坐標(biāo),。定時(shí)功能和腳踏開關(guān)功能,,使操作者能夠在手不需要離開載物臺手柄的情況下專心測量。
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