這家SiC襯底企業(yè)獲數(shù)億元D輪融資,，第三代半導(dǎo)體材料市場爆發(fā)在即,！

在半導(dǎo)體行業(yè)中,，高純石墨主要是作為加熱系統(tǒng),、保溫罩、電極等存在,，采用高純石墨做這些部件也是充分利用了高純石墨耐高溫這一特點,。高純石墨的耐腐蝕、抗氧化,、導(dǎo)電導(dǎo)熱的優(yōu)點應(yīng)用到了半導(dǎo)體工業(yè)中,，使工件使用壽命更長、更加減磨省電,。我司主要采用德國半導(dǎo)體等級石墨材料,，精密制作離子注入用石墨耗材,，提供標(biāo)準(zhǔn)件及客制化規(guī)格,。

高純度石墨根據(jù)均勻細(xì)顆粒的特性可作為低原子序數(shù)材料,，對離子、等離子具有較強(qiáng)的抗轟擊能力,，很強(qiáng)的抗腐蝕性,，純度高沒有金屬離子不會對半導(dǎo)體產(chǎn)生污染，金屬部件暴露在離子注入設(shè)備中會造成高的損耗,，故這時應(yīng)用相應(yīng)的石墨件來作屏蔽罩,。用于等離子cvd用部件 等離子vcd用感受器、電極室,、噴嘴,、內(nèi)襯、濺射用電極,、movcd感受器等,。