日本Fujikura藤倉(cāng)無(wú)塵室對(duì)應(yīng)超精密減壓閥RR-8-2-KA

利用其他減壓閥的外部先導(dǎo)壓力，進(jìn)行出口壓力可變?cè)O(shè)定的空氣壓力操作的減壓閥,。

壓力控制方式是因?yàn)椴捎脻L動(dòng)膜片與計(jì)量膜合的伺服平衡方式,，可以實(shí)現(xiàn)無(wú)塵室對(duì)應(yīng)的精密的壓力調(diào)整的減壓閥。

無(wú)塵規(guī)格

因?yàn)椴科肥遣讳P鋼及氟橡膠,，其他的部品全部為非電解鍍鎳處理，產(chǎn)生的雜質(zhì)非常少,。

歧管安裝對(duì)應(yīng)

歧管連接配管可能,。

排氣口裝備

因?yàn)榕艢饪祝缌骺?，可以連接排氣用配管,；排氣空氣及溢流空氣都可以排到無(wú)塵室以外。

高精度

可以實(shí)現(xiàn)感度0.1%F.S.,反復(fù)再現(xiàn)性±0.1%F.S.的高精度控制,。

規(guī)格

RR-8
使用流體 清潔壓縮空氣
壓力設(shè)定范圍 （MPa） 0.014～0.84
進(jìn)口壓力設(shè)定范圍 （MPa） 1. Max.
排氣的有無(wú) 有
反復(fù)再現(xiàn)性 （％.F.S） ±0.1以內(nèi)
感度 （％.F.S） 0.1以內(nèi)
空氣消費(fèi)量 （Nl/min） 3.7以內(nèi)
使用溫度范圍 （℃） 5～60
配管連接口徑 Rc 1/4,、歧管型
壓力表連接口徑 （Rc） 1/4
支架 標(biāo)準(zhǔn)配置（歧管型以外）
質(zhì)量 （kg） 0.45