LFLX-3000S三路氣體配比裝置可以直接更改使用氣體的介質(zhì)以及量程，氣體濃度可以比例的調(diào)節(jié)與放大配比范圍,。**先整個(gè)設(shè)備系統(tǒng)管路可以在線抽真空,，混合后的氣體直接輸入到后端的氣體濃度分析儀設(shè)備中進(jìn)行濃度分析，分析后的氣體可以通過(guò)前端的設(shè)置做閉環(huán)控制程序,，進(jìn)行自動(dòng)調(diào)節(jié),。混合后的氣體后端可以進(jìn)行流速調(diào)節(jié),，還可以同時(shí)控制氣體的濕度和溫度,。