工藝卡點特性

1.提高產(chǎn)品成品率：硅片裝夾牢固，減少掉片現(xiàn)象,，減少氮化硅的色差片,，提高了成品率。

2.工藝點鉤點小,，新的圓形工藝點在硅片上的鉤點面積是1.472mm2,，新的菱形工藝點鉤點面積是0.619mm2。

3.使用壽命長,。

4.采用SGL高純石墨,，純度高、硬度高,、耐磨,、使用壽命長。