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離子注入用石墨,,細(xì)顆粒高密度的石墨呈現(xiàn)出很強(qiáng)的抗腐蝕性,,即使是在極其惡劣的工況下(如離子束轟擊或等離子體束)也是如此,。
由于離子束的原因,,金屬部件暴露在離子注入設(shè)備中會(huì)造成高的損耗,,故這時(shí)應(yīng)用相應(yīng)的石墨件來(lái)作屏蔽罩,。
上海弘竣新能源材料采用德國(guó)西格里石墨,,不僅能為各種離子注入機(jī)提供石墨屏蔽罩,,且提供各種規(guī)格具有高耐腐蝕性的高純度石墨電極及離子源。
即使在離子轟擊或等離子等極限工作條件下,,細(xì)粒,、高密度石墨也不易受腐蝕,。離子轟擊設(shè)備的金屬部件要接觸離子束,磨損嚴(yán)重,,可使用合適的石墨擋板進(jìn)行保護(hù),。
上海弘竣新能源材料不僅提供石墨擋板,還提供適用于各種注入機(jī)的電極和離子源,,這些石墨產(chǎn)品都具有耐腐蝕和純度高的優(yōu)點(diǎn),。
為了滿足客戶的不同需求,我們上海弘竣新能源材料還可根據(jù)客戶生產(chǎn)出不同規(guī)格的石墨件,,全部采用精加工方式,,保障了 石墨件的精度要求。
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