平面刻劃光柵

衍射光柵可將復(fù)色光（白光）分離成各種組分（通過(guò)衍射效應(yīng)）,。各種光柵是由高精度的母光柵進(jìn)行多次復(fù)制而成,。光柵復(fù)制過(guò)程見如下描述。

高品質(zhì)儀器級(jí)別的光柵可近乎滿足所有的衍射需求,，特別是在效率要求比較高的時(shí)候,。可以根據(jù)尺寸,，紋槽間距以及閃耀波長(zhǎng)來(lái)選擇光柵,。理論分辨率與母光柵的每毫米槽紋數(shù)成比例，閃耀角和光柵間距決定了特種波長(zhǎng)和光譜區(qū)域的**效率,。

衍射光柵尺可用在各種單色光的研究,、教學(xué)、以及工業(yè)場(chǎng)合,，幾乎所有的商用分光光度計(jì)（紫外光,、可見光,、紅外光,、熒光、拉曼光,、原子吸收等）都使用衍射光柵來(lái)選擇特殊的波長(zhǎng)或掃描整個(gè)波長(zhǎng)區(qū)域,。對(duì)于一個(gè)普通的光柵尺，通常在峰值效率時(shí)復(fù)制光柵,。復(fù)制全息光柵時(shí)需要將雜散光調(diào)整到**小,，且需要高分辨率的母尺。注意：光柵尺和全息光柵尺的損壞閾制在脈沖激光下為350mj/cm2,，在連續(xù)激光模式下為40 Watts/cm2,。

刻線式衍射光柵是在一個(gè)鍍了鋁膜的光學(xué)基板上刻有一系列密集的、間距線寬相等的平行直線,，通常叫做“主尺”,。采用高精密的干涉測(cè)量驅(qū)動(dòng)器控制一個(gè)鉆石刀來(lái)按照設(shè)定的間距和角度進(jìn)行刻劃，形成鋸齒狀的槽紋（通常稱為閃耀角）,。復(fù)制時(shí)**先在母版上真空沉積一層很薄的膜層,，然后在分離層上鍍一層鋁膜，再在頂層鍍上一層環(huán)氧層,，復(fù)制刻槽表面,，復(fù)制的光柵從主光柵上分離出來(lái)后，這個(gè)化合的過(guò)程便隨著分離過(guò)程的結(jié)束而結(jié)束了,。

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