JH60A霍爾效應(yīng)測試儀-電磁鐵型

霍爾效應(yīng)測試儀,，是用于測量半導(dǎo)體材料的載流子濃度,、遷移率、電阻率,、霍爾系數(shù)等重要參數(shù)，而這些參數(shù)是了解半導(dǎo)體材料電學(xué)特性必須預(yù)先掌控的,，因此是理解和研究半導(dǎo)體器件和半導(dǎo)體材料電學(xué)特性必*的工具,。

該儀器為性能穩(wěn)定、功能強(qiáng)大,、性價(jià)比高的霍爾效應(yīng)儀,在國內(nèi)高校,、研究所及半導(dǎo)體業(yè)界擁有廣泛的用戶和知*度。儀器輕巧方便,，易于攜帶,，主要用于量測電子材料之重要特性參數(shù)，如載流子濃度,、遷移率,、電阻率、霍爾系數(shù)等,，薄膜或固體材料均可,。

產(chǎn)品概述：

  本儀器系統(tǒng)由：電磁鐵、高精度電源,、高斯計(jì),、高精度恒流源、高精度電壓表,、霍爾探頭,、電纜、標(biāo)準(zhǔn)樣品,、樣品安裝架,、系統(tǒng)軟件。為本儀器系統(tǒng)專門研制的JH10 效應(yīng)儀將恒流源,，六位半微伏表及霍耳測量復(fù)雜的切矩陣開關(guān)組裝成一體,，大大減化了實(shí)驗(yàn)的連線與操作。JH10 可單獨(dú)做恒流源,、微伏表使用,。用于測量半導(dǎo)體材料的載流子濃度、遷移率,、電阻率,、霍爾系數(shù)等重要參數(shù),，而這些參數(shù)是了解半導(dǎo)體材料電學(xué)特性必須預(yù)先掌控的，因此霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)是理解和研究半導(dǎo)體器件和半導(dǎo)體材料電學(xué)特性必備的工具,。 實(shí)驗(yàn)結(jié)果由軟件自動計(jì)算得到,，可同時得到體載流子濃度(Bulk Carrier Concentration)、表面載流子濃度(Sheet Carrier Concentration),、遷移率(Mobility),、電阻率(Resistivity)、霍爾系數(shù)(Hall Coefficient),、磁致電阻(Magnetoresistance)等等。

技術(shù)指標(biāo)：

* 電磁鐵磁場：間距 10mm情況下10700 高斯,，間距20mm 情況下7000 高斯

*樣品電流：50nA～50mA（*小可調(diào)節(jié)電流為 0.1nA）

*測量電壓：0.1uV～30V

* 提供各類測試標(biāo)準(zhǔn)材料,，各級別霍爾器件（靈敏度與精度不同）

*分辨率：低至1GS

*磁場范圍：0-±1T

*配合高斯計(jì)或數(shù)采板可與計(jì)算機(jī)通訊

* I-V 曲線及 I-R 曲線測量等 ▲ 電阻率范圍：5*10^-5～5*10²Ω.cm

*電阻范圍：10mOhms～ 6MOhms

*載流子濃度：5*10¹²～51*10²⁰cm^-3

*霍爾系數(shù)：±1*10^-2～±1*10⁶cm³/C

*遷移率：0.1～10⁸cm²/volt*sec

*測試全自動化，一鍵處理

*專業(yè)的歐姆接觸組合套件

自動化霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)組成：

高精度磁鐵電源

※ 雙極性恒流輸出

① 電源輸出電流可在正負(fù)額定★大電流之間連續(xù)變化,；

② 電流可以平滑過零點(diǎn),，非開關(guān)換向；

③ 輸出電流,、電壓四象限工作（適合感性負(fù)載）,；

④ 電流變化速率可設(shè)置范圍為0.0007～0.3 F.S./s(F.S.為額定★大輸出電流）。

※ 電流穩(wěn)定度高,，紋波低

①電流穩(wěn)定度：**±25ppm/h（標(biāo)準(zhǔn)型）,，優(yōu) 于±5ppm/h（高穩(wěn)型）；

② 電流準(zhǔn)確度：±（0.01%設(shè)定值+1mA）,； 

③ 電流分辨率：20 bit,，例 1** 電源，電流分辨率為 0.0**,；

④ 源效應(yīng)：≤ 2.0×10-5 F.S.（在供電電壓變化 10%時,，輸出電流變化量）；

⑤ 負(fù)載效應(yīng)：≤ 2.0×10-5 F.S.（在負(fù)載變化 10%時,，輸出電流變化量）,；

⑥ 電流紋波（RMS）：小于1mA。

 霍爾樣品架:

用于固定,，焊接霍爾器件,，四探針壓點(diǎn)使接觸更方便牢。高精度高斯計(jì)：分辨力：0.01Gs,，量程：0-±3T,，精度：0.1% ，標(biāo)準(zhǔn) 232 數(shù)字接口與控制端口,。

電壓電流數(shù)采儀：

恒流源量程：±50nA-±50mA,，分辨力 0.1nA 在量程范圍內(nèi)連續(xù)可調(diào),，高 精 度 電 壓 數(shù) 采 儀 范 圍 0. 1uV-30V，精度：.01%內(nèi)置測試矩陣轉(zhuǎn)換卡,，

 電磁鐵：

極頭直徑 50mm.NS間距10mm時*大磁場1.07T,，間距 20mm 時*大磁場 0.7T，可實(shí)現(xiàn)在*大磁場范圍內(nèi)連續(xù),，變化（可調(diào)）自重 30 公斤,。

歐姆接觸套件 ：

專業(yè)做歐姆接觸用銦片以及相，應(yīng)焊接套裝,，材料標(biāo)準(zhǔn)樣片,，硅片，砷化鎵 2 阻值：300-500 歐姆,。

測試系統(tǒng)軟件：

定位采集,，數(shù)字溫度顯示，I-V,，曲線及 I-R 曲線測量,，得到體載，流子濃度等各類參數(shù)曲線圖形,。

可測試材料: 

半導(dǎo)體材料：SiGe, SiC, InAs, InGaAs, InP, AlGaAs, HgCdTe 和鐵氧體材料,，低阻抗材料：石墨烯、金屬,、透明氧化物,、弱磁性半導(dǎo)體材料、TMR 材料,，高阻抗材料：半絕緣的 GaAs, GaN, CdTe 等

樣品測試：

設(shè)置控制電流,、磁場和霍爾片厚度，點(diǎn)擊“開始測試”按鈕,，軟件將完成一鍵測試過程,，直至計(jì)算出所有霍爾參數(shù)。每次測試完后,，可選擇保存該計(jì)算結(jié)果值,，然后點(diǎn)擊“清除顯示”按鈕，以進(jìn)入下一次測試,。

若保持磁場大小不變,，改變控制電流的大小，可通過畫圖操作觀察Is 與 VH的關(guān)系,；若保持控制電流大小不變,，改變磁場的大小，可通過畫圖觀察 B 與 VH 的關(guān)系,。