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設(shè)備特點(diǎn)
適用厚膜電路調(diào)阻,，電子模塊功能修調(diào)
高精度,，高速度，高可靠性
訂制的**激光器,，切口質(zhì)量高
直線電機(jī)XY平臺(tái)分步重復(fù)
消色差成像技術(shù),，圖像識(shí)別功能
矩陣測(cè)量系統(tǒng)，配備IEEE-488(GPIB)接口
強(qiáng)大軟件編程功能,，滿(mǎn)足各種不同應(yīng)用
主要技術(shù)參數(shù)
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激光系統(tǒng) |
型號(hào)規(guī)格 |
LT7130/G/U |
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激光波長(zhǎng) |
1064nm/532nm/355nm |
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激光功率 |
8W/5W/3W |
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典型光斑尺寸 |
35±5μm/18μm/10μm |
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對(duì)焦方式 |
自動(dòng),，計(jì)算機(jī)程序控制 |
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冷卻方式 |
水冷 |
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激光束定位系統(tǒng) |
激光束運(yùn)動(dòng)范圍 |
60mm X 60mm |
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運(yùn)動(dòng)分辨率 |
0.76μm |
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重復(fù)定位精度 |
±2.5μm |
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分步重復(fù)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng) |
運(yùn)動(dòng)方式 |
平面電機(jī)或直線電機(jī) |
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運(yùn)動(dòng)范圍 |
290mm*260mm |
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重復(fù)定位精度 |
±1μm |
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運(yùn)動(dòng)速度（空載） |
900mm/s |
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測(cè)量系統(tǒng) |
電阻測(cè)量方式 |
四線制測(cè)量或二線制測(cè)量 |
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電阻測(cè)量精度 |
中阻 ± 0.02% |
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電阻測(cè)量范圍 |
0.1Ω-100MΩ |
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測(cè)量速度 |
25μs/次 |
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零點(diǎn)及滿(mǎn)程誤差校正 |
自動(dòng)校正 |
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探針定義 |
可編程任意設(shè)定 |
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探針板運(yùn)動(dòng) |
自動(dòng)、計(jì)算機(jī)程序控制 |
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探針板規(guī)格 |
標(biāo)準(zhǔn)P48 |
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