產(chǎn)品功能：
 清洗： 工藝部件的表面通過(guò)離子束的物理轟擊而被清洗,，也可與特定氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)從而被清洗,，清洗掉的工藝污染物轉(zhuǎn)化為氣相被排出。
           如：去除有機(jī)污染物，去除納米級(jí)微粒,，去除氧化層。
活化：工藝部件表面通過(guò)氧氣或空氣處理后,，會(huì)在表面形成氧原子團(tuán),，這樣能使部件表面親水性和表面張力提高，能使涂料和粘接劑更好的附著于上,，提高其的粘合力和附著力,。
           如：PDMS鍵合，粘接前的預(yù)處理,，涂裝前的預(yù)處理,，印刷前的預(yù)處理。
蝕刻：工藝部件表面通過(guò)特定氣體達(dá)到**濺射,，表面材料被剝離,，轉(zhuǎn)變成氣相被排出，濺射后的材料表面積增大并更易濕潤(rùn),，也使材料表面更粗糙化,。通過(guò)改變工藝參數(shù)可使材料表面蝕刻出一定的形狀,。
            如：硅蝕刻，PTFE/PFA/FEP蝕刻,，光刻膠去除,。
涂層：使工藝部件表面發(fā)生等離子聚合反應(yīng)，前驅(qū)單體導(dǎo)入等離子真空腔室后使其電離并沉積至材料表面,，隨即發(fā)生聚合反應(yīng),，形成聚合物層。
           如：疏水層,，親水層,，保護(hù)/阻隔層，干潤(rùn)滑層,，疏油層,。
 
具體應(yīng)用： 去除部件封裝（半導(dǎo)體）
支架（牙醫(yī)）
心臟起搏器
傳感器
精密驅(qū)動(dòng)間
車大燈反射鏡
攝像頭
**器械
 
主要技術(shù)參數(shù)：
1.半自動(dòng)控制
2.根據(jù)工藝要求不同，可設(shè)定功率,、壓強(qiáng),、氣體流量等參數(shù)
3.雙路工作氣體，氣體流量通過(guò)針型閥流量計(jì)控制
4.反應(yīng)艙為高硼硅玻璃腔體,，直徑130mm, 長(zhǎng)300 mm ,，容積約為5L
5.發(fā)生器頻率40KHz,功率0~200W
6.反射波自動(dòng)調(diào)節(jié)
7.電極材質(zhì)為鋁
8.運(yùn)行模式為手動(dòng)
9.配套真空泵的排氣能力為4m3/Hour，配有強(qiáng)制進(jìn)氣閥,，國(guó)產(chǎn)飛越真空泵
10*配有壓力傳感器,，可根據(jù)工藝要求設(shè)定壓力值
11.外尺寸：W560mm*D600mm*H460-860mm
12.電源電壓：?jiǎn)蜗郃C230V 16A