如：去除有機污染物,，去除納米級微粒,，去除氧化層,。
活化：工藝部件表面通過氧氣或空氣處理后,，會在表面形成氧原子團，這樣能使部件表面親水性和表面張力提高,，能使涂料和粘接劑更好的附著于上,，提高其的粘合力和附著力。
           如：PDMS鍵合,，粘接前的預處理,，涂裝前的預處理，印刷前的預處理,。
蝕刻：工藝部件表面通過特定氣體達到**濺射,，表面材料被剝離,，轉變成氣相被排出，濺射后的材料表面積增大并更易濕潤,，也使材料表面更粗糙化,。通過改變工藝參數(shù)可使材料表面蝕刻出一定的形狀。
            如：硅蝕刻,，PTFE/PFA/FEP蝕刻,，光刻膠去除。
涂層：使工藝部件表面發(fā)生等離子聚合反應,，前驅單體導入等離子真空腔室后使其電離并沉積至材料表面,，隨即發(fā)生聚合反應，形成聚合物層,。
           如：疏水層,，親水層，保護/阻隔層,，干潤滑層,，疏油層。
 
具體應用： 去除部件封裝（半導體）
支架（牙醫(yī)）
心臟起搏器
傳感器
精密驅動間
車大燈反射鏡
攝像頭
**器械