產(chǎn)品功能：
 清洗： 工藝部件的表面通過離子束的物理轟擊而被清洗，也可與特定氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)從而被清洗,，清洗掉的工藝污染物轉(zhuǎn)化為氣相被排出,。
           如：去除有機(jī)污染物,，去除納米級微粒,，去除氧化層,。
活化：工藝部件表面通過氧氣或空氣處理后，會在表面形成氧原子團(tuán),，這樣能使部件表面親水性和表面張力提高,，能使涂料和粘接劑更好的附著于上，提高其的粘合力和附著力,。
           如：PDMS鍵合,，粘接前的預(yù)處理，涂裝前的預(yù)處理，印刷前的預(yù)處理,。
蝕刻：工藝部件表面通過特定氣體達(dá)到**濺射,，表面材料被剝離，轉(zhuǎn)變成氣相被排出,，濺射后的材料表面積增大并更易濕潤，也使材料表面更粗糙化,。通過改變工藝參數(shù)可使材料表面蝕刻出一定的形狀,。
            如：硅蝕刻，PTFE/PFA/FEP蝕刻,，光刻膠去除,。
涂層：使工藝部件表面發(fā)生等離子聚合反應(yīng)，前驅(qū)單體導(dǎo)入等離子真空腔室后使其電離并沉積至材料表面,，隨即發(fā)生聚合反應(yīng),，形成聚合物層。
           如：疏水層,，親水層,，保護(hù)/阻隔層，干潤滑層,，疏油層,。
 
具體應(yīng)用： 去除部件封裝（半導(dǎo)體）
支架（牙醫(yī)）
心臟起搏器
傳感器
精密驅(qū)動間
車大燈反射鏡
攝像頭
**器械