產(chǎn)品信息：

在實(shí)際得科研生產(chǎn)中，由于樣品/晶圓（Wafer）得尺寸越來越大，用于測試的探針臺(tái)相當(dāng)昂貴,，我司根據(jù)客戶市場應(yīng)用自主研發(fā)的這款結(jié)構(gòu)小巧,，功能實(shí)用,，成本較低的簡易式探針臺(tái),，在滿足基本測試功能基礎(chǔ)上，去除了非必要得部件,，該探針臺(tái)系統(tǒng)包含：光學(xué)成像部分,，隔振平臺(tái)，探針座,，四維調(diào)整載片臺(tái)（Chuck）,，真空吸附系統(tǒng)；    

創(chuàng)譜儀器可以根據(jù)客戶應(yīng)用搭建探針臺(tái),，以達(dá)到更好得使用效果和性價(jià)比,。

技術(shù)參數(shù)：

◆模塊化設(shè)計(jì)，可以搭建不同構(gòu)件完成不同測試

◆探針臺(tái)整體位移分辨率3μm,，樣品XYZR四維調(diào)節(jié)    

◆兼容多種光學(xué)顯微鏡,，可以引入光路，完成光電mapping測試

◆兼容高倍率電子顯微鏡/體式顯微鏡,，可360°旋轉(zhuǎn)和微調(diào)升降

◆漏電流精度：10pA/100fa（屏蔽箱內(nèi)）

◆探針采用進(jìn)口交叉滾珠導(dǎo)軌,，線性移動(dòng)，無回程差設(shè)計(jì)

◆1微米以上電極/PAD使用

◆加寬探針架,，可以放置6個(gè)DC探針座/4個(gè)RF探針座

◆全系列搭配顯微鏡XY精密移動(dòng)功能，可以選配多種位移行程以及驅(qū)動(dòng)形式

◆多被用于科研院校搭建測試系統(tǒng),，例：材料電學(xué)測試系統(tǒng),、光電探測器光電響應(yīng)系統(tǒng)、光電Mapping測試系統(tǒng),、憶阻器與神經(jīng)元系統(tǒng)等等