◆TDR系列探針臺(tái)包括探針臺(tái)面板,，探針架，高精度探針定位器,，恒溫樣品臺(tái),，樣品位移系統(tǒng),，顯微成像系統(tǒng)等組成，模塊化設(shè)計(jì)，后期方便升級(jí)滿足不同應(yīng)用要求

◆**可用于12寸以內(nèi)樣品測(cè)試

◆探針臺(tái)整體位移分辨率3μm,，樣品XYZR四維調(diào)節(jié)

◆兼容多種光學(xué)顯微鏡,，可以引入光路，完成光電mapping測(cè)試

◆探針采用進(jìn)口交叉滾珠導(dǎo)軌,，線性移動(dòng)，無回程差設(shè)計(jì)

◆PID控溫,，可加熱至300℃,，控溫精度±1℃，有效區(qū)域溫度均勻性±5℃

◆1微米以上電極/PAD使用

◆加寬探針架,，可以放置6個(gè)DC探針座/4個(gè)RF探針座

◆全系列搭配顯微鏡XY精密移動(dòng)功能,，可以選配多種位移行程以及驅(qū)動(dòng)形式

◆多被用于科研院校搭建測(cè)試系統(tǒng)，例：材料電學(xué)測(cè)試系統(tǒng),、光電探測(cè)器光電響應(yīng)系統(tǒng),、光電Mapping測(cè)試系統(tǒng)、憶阻器與神經(jīng)元系統(tǒng)等