產(chǎn)品信息：

在實際得科研生產(chǎn)中,，由于樣品/晶圓（Wafer）得尺寸越來越大，用于測試的探針臺相當昂貴,，我司根據(jù)客戶市場應用自主研發(fā)的這款結構小巧,，功能實用,，成本較低的簡易式探針臺，在滿足基本測試功能基礎上,，去除了非必要得部件,，該探針臺系統(tǒng)包含：光學成像部分,，隔振平臺，探針座,，四維調整載片臺（Chuck）,，真空吸附系統(tǒng)；    

創(chuàng)譜儀器可以根據(jù)客戶應用搭建探針臺,，以達到更好得使用效果和性價比,。

技術參數(shù)：

◆樣品臺XYZR四維調節(jié)，XY行程根據(jù)樣品臺尺寸/晶圓尺寸而定,，Z軸行程10mm,，XYZ整體分辨率3μm，360°旋轉粗調可鎖緊

◆兼容多種光學顯微鏡,，可以引入光路,，完成光電mapping測試    

◆整體尺寸小，方便攜帶,，底部隔振地腳,，提高測試穩(wěn)定性

◆漏電流精度：10pA/100fa（屏蔽箱內(nèi)）

◆探針采用進口交叉滾珠導軌/精密燕尾槽，線性移動,，無回程差設計

◆1微米以上電極/PAD使用

◆U型探針架,，可以放置多個探針座

◆多被用于晶圓測試、LED測試,、功率器件測試、MEMS測試,、PCB測試,、液晶面板測試、太陽能電池片測試,、材料表面電阻率測試等,；廣泛用于科研院校以及公司！