白光光學(xué)輪廓儀可以用來測(cè)量表面形貌。隨著機(jī)械精度和光學(xué)加工能力的提高,，超光滑或者次納米表面的加工越來越普及，這些表面的量化已成為過程控制的關(guān)鍵,。

   在對(duì)超光滑表面進(jìn)行定量測(cè)量時(shí)，**先要清楚每一個(gè)測(cè)量系統(tǒng),，均存在其固有本底噪音,。這些噪音來源電子噪音，接收器噪音,、參考表面的微小不平整以及測(cè)量環(huán)境引起的微小振動(dòng)等,。對(duì)大多數(shù)樣品，NewView系統(tǒng)的測(cè)量噪音基本上可以忽略,，因?yàn)樗鶞y(cè)量的結(jié)果遠(yuǎn)大于本底噪音,。但對(duì)于非常光滑的表面，本底噪音就得加以考慮,，對(duì)這些樣品測(cè)量超光滑表面需要清楚知道噪聲的來源并加以很好的控制,。

測(cè)量超光滑表面需要對(duì)測(cè)量環(huán)境很好的控制，理想的測(cè)量環(huán)境是：

l 機(jī)械和聲波的**小化

l 在測(cè)量時(shí)間內(nèi)嚴(yán)格控制溫度的變化,，使樣品物鏡環(huán)境溫度變化**小化

l 嚴(yán)格控制物鏡和樣品之間的氣流，使氣流對(duì)測(cè)量影響**小化