半導(dǎo)體特性決定其制造過(guò)程必須有潔凈度要求，環(huán)境中雜質(zhì)對(duì)半導(dǎo)體的特性有著改變或破壞其性能的作用,，所以在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)什么都必須嚴(yán)格控制,，雜質(zhì)各式各樣,，如金屬離子會(huì)破壞半導(dǎo)體器件的導(dǎo)電性能，灰塵粒子破壞半導(dǎo)體器件的表面結(jié)構(gòu)等,。

       半導(dǎo)體器件生產(chǎn)環(huán)境要求很?chē)?yán),，除了要求恒溫恒濕外，對(duì)生產(chǎn)環(huán)境潔凈度要求很?chē)?yán),，按單位體積重規(guī)定的塵埃粒子數(shù)標(biāo)準(zhǔn)分成潔凈度的等級(jí),。一般分為：10級(jí)、100級(jí),、1000級(jí),、10000級(jí)、100000級(jí),，國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)IOS14644-1,、國(guó)標(biāo)GB50073-2013、美聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)中均有規(guī)定潔凈室和潔凈區(qū)內(nèi)空氣以大于或等于被考慮粒徑的粒子**濃度限值進(jìn)行劃分的等級(jí)標(biāo)準(zhǔn),。

       電子產(chǎn)品性能,、質(zhì)量的提高和生產(chǎn)過(guò)程的微細(xì)化，日益要求生產(chǎn)環(huán)境具有一定的空氣潔凈

該項(xiàng)目的潔凈室在水平方向上采用了港灣式的布置方式,。這種布置方式的優(yōu)點(diǎn)是將工藝設(shè)備分為前,、后區(qū)，前區(qū)為人員操作區(qū)(硅片暴露區(qū)),，后區(qū)為工藝設(shè)備接管區(qū),，前后區(qū)潔凈度區(qū)分明顯，**影響產(chǎn)品質(zhì)量的是前區(qū),。將前后區(qū)區(qū)分開(kāi)后,，潔凈度要求高的區(qū)域的面積也會(huì)減少，以減少整個(gè)系統(tǒng)的循環(huán)風(fēng)量,，降低能耗及工程造價(jià),。根據(jù)ISO標(biāo)準(zhǔn)，該潔凈室生產(chǎn)前區(qū)的潔凈度等級(jí)為2.5級(jí)和3.5級(jí),，溫度要求為±221℃,，相對(duì)濕度要求為45%±5%;該潔凈室生產(chǎn)后區(qū)的潔凈度等級(jí)為6級(jí)和7級(jí)，溫度要求為±223℃,，相對(duì)濕度要求為30%-60%,。

該項(xiàng)目的潔凈室在垂直方向采用三層結(jié)構(gòu)的布置方式(如圖)，這也是大規(guī)模集成電路廠房常用的形式,，即上層為潔凈室的送風(fēng)靜壓層,，中間為潔凈生產(chǎn)區(qū)，下層為回風(fēng)層及支持區(qū),。

在工程上,，人們利用室內(nèi)空氣的循環(huán)來(lái)保持生產(chǎn)區(qū)域內(nèi)的潔凈等級(jí),。空氣在嚴(yán)格控制溫度,、濕度的前提下,，經(jīng)過(guò)過(guò)濾器之后進(jìn)入潔凈室內(nèi)，而室內(nèi)的空氣則經(jīng)回風(fēng)系統(tǒng)“離開(kāi)”潔凈室,，再經(jīng)過(guò)濾器之后重新進(jìn)入潔凈室,。與此同時(shí)，由于潔凈室內(nèi)必然會(huì)有風(fēng)量損失,，因此也需要補(bǔ)充一部分室外新風(fēng),。

在本項(xiàng)目中，潔凈室系統(tǒng)采用新風(fēng)集中處理機(jī)組(MAU)+風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元(FFU)+干式冷盤(pán)管(DDC)的方式,，其空氣處理過(guò)程為：循環(huán)風(fēng)經(jīng)設(shè)置在一層的干式冷卻盤(pán)管冷卻后,，進(jìn)入上部送風(fēng)靜壓箱，與處理后的新風(fēng)混合,，經(jīng)FFU加壓,、過(guò)濾后送入生產(chǎn)區(qū)。

其中,，MAU的主要作用是提供潔凈室需求的新風(fēng),，控制潔凈室的濕度，同時(shí)通過(guò)變頻調(diào)節(jié)來(lái)維持潔凈室的正壓環(huán)境;DDC主要承擔(dān)潔凈室的顯熱負(fù)荷;而FFU則過(guò)濾循環(huán)空氣來(lái)滿足潔凈室的潔凈度,。這種方式與傳統(tǒng)的循環(huán)送風(fēng)方式相比有明顯的優(yōu)勢(shì),，F(xiàn)FU具有靈活性，可適應(yīng)工藝變化,，當(dāng)工藝發(fā)展需要提高空氣潔凈度級(jí)別時(shí),，采取增加FFU數(shù)量或更換更高效率的過(guò)濾器就可達(dá)到提高潔凈度等級(jí)的目的。FFU采用負(fù)壓密封使其簡(jiǎn)化而可靠,，也就是說(shuō),，潔凈區(qū)內(nèi)的空氣壓力大于送風(fēng)靜壓箱內(nèi)的空氣壓力，這就極大地降低了塵埃微粒通過(guò)縫隙進(jìn)入潔凈室的幾率,。此外,，采取這種方式也可大大節(jié)省空調(diào)機(jī)房的面積。

由于集成電路芯片制造工藝的特殊性,，在芯片生產(chǎn)的過(guò)程中,，會(huì)產(chǎn)生各種廢氣，其中,，酸堿廢氣來(lái)源于硅片清洗,、爐管清洗、濕法刻蝕;工藝尾氣來(lái)自離子注入、干法刻蝕,、CVD、擴(kuò)散,、外延;有機(jī)廢氣來(lái)自光刻,、去膠、顯影等工序,。在工程設(shè)計(jì)中,，應(yīng)針對(duì)排放氣體的不同性質(zhì)分別處理。

為補(bǔ)償工藝排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓以及滿足工作人員的新風(fēng)需要,，潔凈區(qū)需送入一定量的新風(fēng),，新風(fēng)機(jī)組MAU采用變頻風(fēng)機(jī)，通過(guò)室內(nèi)正壓值控制風(fēng)機(jī)的變頻器,，調(diào)節(jié)新風(fēng)風(fēng)量,。新風(fēng)管道的布置，盡可能地將新風(fēng)均勻送入潔凈室,，并且在工藝設(shè)備發(fā)熱較大的地方提供更多的新風(fēng),，以減輕干式冷盤(pán)管的負(fù)擔(dān)。

潔凈室空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)是一個(gè)復(fù)雜的過(guò)程,，以上的描述僅僅是對(duì)整個(gè)系統(tǒng)作一個(gè)簡(jiǎn)單的概述,，而實(shí)際上還需要大量的計(jì)算來(lái)**以上實(shí)施的有效性，除了圍護(hù)結(jié)構(gòu),、人員,、照明的負(fù)荷計(jì)算外，還需要進(jìn)行復(fù)雜的工藝設(shè)備冷熱負(fù)荷計(jì)算,、風(fēng)量平衡計(jì)算以及大量的水力平衡計(jì)算來(lái)確保整個(gè)系統(tǒng)的均勻,、平衡、合理,。集成電路廠房的潔凈室能源消耗大,，投資大，如何在滿足工藝需求的前提下,，采用更合理的方案,、更**的技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)節(jié)約能源、減少工程造價(jià),，是我們今后設(shè)計(jì)中所面臨的方向,，也符合國(guó)家節(jié)能減排的政策要求。