CSA-8半自動探針臺

CSA-8自動對位探針臺能對晶片實現(xiàn)自動對位測試,，

操作簡單，快捷,，測試精度高,，具有MAP顯示功能。

與測試儀連接后,，能自動完成對各種晶體管芯的電參數(shù)測試及功能測試 ,。

CSA-8型自動對位探針臺

主要技術(shù)參數(shù)

可測片型：3 寸、 4寸,、5寸,，6寸、8寸

測試硅片單元尺寸：20—200 mil

X-Y軸采用**的直線電機驅(qū)動,，行程：250mm*350mm,，

X-Y軸移動分辨率：0.1μm，

X-Y軸重定位精度：≤±1μm,，

X-Y移動速度：≥80mm/sec

Z軸采用高精度4導(dǎo)軌結(jié)構(gòu),，有效**負載和垂直度，行程：20mm,，

Z軸移動分辨率：0.1um,，

Z軸重定位精度：≤±1μm，

Z軸移動速度：≥20mm/sec

Theta軸采用高精度DD馬達,，角度行程：±10°,，Theta角度分辨率：0.00018°

誤測率：≤ 1 ‰

全自動對位時間：≤ 15 s

測試速度 45 mil   5.0 pcs/s     50 mil   4.6 pcs/s      87 mil   4.2 pcs/s

步進分辨率：0.001

Z向行程：0～5mm 可調(diào)

承片臺轉(zhuǎn)角θ調(diào)節(jié)范圍：±20o

CSA-8型自動對位探針臺能

對晶片實現(xiàn)自動對位測試，操作簡單,，

快捷,，測試精度高，具有MAP顯示功

能,。它與測試儀連接后,，能自動完成

對各種晶體管芯的電參數(shù)測試及功能

測試 。

8英寸半自動探針臺

操作方式

CSA-8型自動對位探針臺

提供了清晰直觀的觸屏操作頁面,，

手觸點擊即可完成對晶片的自動對

位測試,。