CL系列探針臺,，晶圓測試探針臺

臺體規(guī)格：

尺寸：4英寸/6英寸/8英寸

水平旋轉(zhuǎn)：可360度旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15度,，精度0.1度,，帶角度鎖死裝置

X-Y移動行程：4英寸*4英寸/6英寸*6英寸

X-Y移動精度：10微米/1微米

樣品臺Z軸調(diào)節(jié)：可升降10mm

樣品固定：真空吸附，中心吸附孔,，多圈吸附環(huán)

針座平臺：U型針座平臺,，**多可放置6個(gè)探針座

背電極測試：樣品臺電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極

外形尺寸：400mm長*400mm寬*600mm高/580mm長*480mm寬*600mm高

重量：約40千克/60千克

光學(xué)系統(tǒng)：

顯微鏡類型：單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡

放大倍率：16X-200X/20X-4000X

移動行程：X-Y軸行程2英寸*2英寸,，Z軸行程50.8mm

光源：外置LED環(huán)形光源/同軸光源

CCD：200萬像素/500萬像素/1200萬像素

探針座

X-Y-Z移動行程：12mm*12mm*12mm

移動精度：10微米/2微米/0.7微米/0.5微米

吸附方式：磁力吸附/真空吸附

線纜：同軸線/三軸線

漏電精度：10pA/100fA/10fA

固定探針：彈簧固定/管狀固定

接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

針尖直徑：0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

針尖材質(zhì)：鎢鋼/鈹銅

可選附件

加熱臺,、顯示器、轉(zhuǎn)接頭,、射頻測試配件,、屏蔽箱、光學(xué)平臺,、鍍金卡盤,、光電測試配件、高壓測試配件,、顯微鏡快速傾仰裝置,、激光系統(tǒng),、探針卡夾具。