玉溪實(shí)驗(yàn)室氣路工程-玉溪實(shí)驗(yàn)室氣路改造-玉溪化驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)安裝

實(shí)驗(yàn)室高純氣路布局

實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)的功能

滿足不同實(shí)驗(yàn)的要求和安全性,，雙瓶采用匯流排供氣設(shè)備，具有手動(dòng),、半自動(dòng)和全自動(dòng)切換功能,，并沒有低壓報(bào)警裝置，實(shí)時(shí)監(jiān)控氣壓,、濃度檢測報(bào)警和排確?？蛻粽Ｓ脷夂蜕?cái)產(chǎn)安全。

氣路系統(tǒng)常用設(shè)備

鋼瓶(氣體壓縮機(jī)),、鋼瓶國定架,、鋼瓶柜、鋼瓶接頭,、金厘軟管,、半自動(dòng)開關(guān)裝置、**減壓器,、二級減壓器,、焊接三通、焊接大,、小封頭,、夾緊套情閥、不銹鋼管(BA),、壓力表,、可燃有毒氣體監(jiān)測報(bào)警裝置等。

實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)技術(shù)要求

1,、氣瓶存放室:

(1)氣瓶之間應(yīng)采用300毫米厚的實(shí)心墻,，安裝防爆門，設(shè)置防爆裔

(2)室內(nèi)電氣設(shè)備應(yīng)具有防爆功能:

(3)應(yīng)安裝排氣扇,，隨時(shí)保持良好的通風(fēng)狀態(tài)

2,、供氣系統(tǒng)需要兩級減壓供氣,。供氣匯流排減壓，氣體從15MPa減壓到小于1.5MPa,，然后輸送到每個(gè)氣體使用實(shí)驗(yàn)室,。二級減壓器安裝在每個(gè)用氣實(shí)驗(yàn)室或用氣點(diǎn)，便于對通風(fēng)柜或儀表的氣體輸送壓力進(jìn)行統(tǒng)一控制,，用氣終端裝有中壓球閥和壓力指示器,。二級減壓器**調(diào)節(jié)壓力(.01兆怕，獲得穩(wěn)定的壓力,，可以滿足儀器對不同使用壓力的要求,，**減壓器和二級減壓器均配有壓力表，可實(shí)時(shí)顯示當(dāng)前壓力.

3,，采用雙側(cè)匯流排半自動(dòng)方式連續(xù)供氣,，實(shí)驗(yàn)室使用要求，更換氣瓶時(shí),，可以通過安裝在高壓軟管下方的夾緊衰更換氣瓶,。

4、氫氣和乙快是,。應(yīng)設(shè)計(jì)氣體泄漏檢測和報(bào)警裝置,，并安裝陽火器，以防止明火回流,。應(yīng)確保放置易燃和助燃?xì)怏w的足夠安全距離.

實(shí)驗(yàn)室高純氣路布局1,高純氣體管道系統(tǒng)的布置不同于普通氣體管道,。一般來說，要求管道不要太長,，不要有死角,，如不容易吹干凈的“盲管”。主管或支管的未端應(yīng)提供必要的排放口和取樣口,。在一些非連續(xù)使用的用戶中,，讓少量氣體在管道未端連續(xù)排出，從而管道中的氣體將正常流動(dòng),，避免出現(xiàn)”死區(qū),，根據(jù)工藝氣體的質(zhì)量要求，必憑時(shí)應(yīng)設(shè)置終端凈化裝置,。一般來說,，控制閥,、過減器,、減壓裝置、壓力表,、流量計(jì),、在分析儀器等,，進(jìn)入潔凈車間的高純度氣體管道集中在氣體人口室，便于

統(tǒng)一管理和控制,。2.高純氣路管道及管道附屋材料高純氣體管道輸送管道應(yīng)根據(jù)工藝對氣體純度,、允許雜質(zhì)含量、顆粒含量等的不同要求,，采用相應(yīng)質(zhì)量的管道,。例，半號(hào)體工業(yè)僅需要清潔的生產(chǎn)環(huán)境,，而目由于其復(fù)雜的生產(chǎn)過程和精細(xì)加工,，對生產(chǎn)過程中所需的各種高純度氣體也有具體和嚴(yán)格的要求，從微米技術(shù)到亞徽米和深亞微米小于0.35um)技術(shù),，對氣體中雜質(zhì)含量和水分含量的要求非常嚴(yán)格,，10-6 ppm級)不能滿足要求，需要達(dá)到10-9 (ppb級)其至10-12pt級),，粉塵粒經(jīng)要控制在0.05-0.01 um,。因此，輸送管道的管道材料特性必須滿足高純度和超高純度氣體的要求,。

3,管道材料的特性對于輸送高純氣體的管道,，影響氣體質(zhì)量的管道材料的主要特性是透氣性、出氣率,、吸附性,、表面粗糙度、耐磨性和耐腐蝕性.供氣系統(tǒng)管道安裝要求

1,、管道教設(shè)應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求,，設(shè)計(jì)沒有要求時(shí)，千氣管道應(yīng)水平安裝 輸送濕氣的管道應(yīng)安裝坡度不小于0.003,，城度應(yīng)期向冷疑水收集器2.管道采用焊接連接,，鎢極盒礦煤打底，手工電弧焊看蓋,。不銹鋼管焊接或點(diǎn)煤應(yīng)采取充氯保護(hù)措施,3.氣體管道和設(shè)備,，閥門和其他附性應(yīng)通過法蘭或想紋連接，慢紋接頭的填料必須是娶四氧了,烯演膜.

4,、氣體管道穿過潔凈室時(shí),，法蘭墊片或擺紋填料的外露部分，必須清理干凈:5,氣體管道采用噴砂除銹或酸洗鈍化無縫鋼管時(shí),，必須采用集中安裝方式,，安裝應(yīng)在48小時(shí)內(nèi)分段組合，每氣保護(hù)，填充壓力不小于0.2兆帕6對干有接地要滅的燃?xì)夤艿?，法蘭之間必須是接導(dǎo)電剛線,，導(dǎo)休截面和煤接塔接長度應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求，俱與必須定固可靠

供氣管道安裝注意事項(xiàng)1.所有氣體管道由高質(zhì)量,、退火和無縫不銹鋼管組成,，銅管僅用于輸氣管道的末端，對氣體純度的要求不太嚴(yán)格,。(例如通風(fēng)櫥),。2、氣路安裝管道不得數(shù)設(shè)電纜和導(dǎo)電線,。

3,，如7快，要要與其他氣體分開到入,，復(fù)與營道與其他可燃?xì)怏w管道平行數(shù)設(shè)時(shí),，其間距不得小于05M交叉數(shù)設(shè)時(shí)間間隔不得小于025米，分層教設(shè)時(shí)營氣管道應(yīng)位于上方,。

4壓縮空氣有凈化裝置,，用于過演管道上的雜質(zhì)和水分。凈化裝置需要并聯(lián)連接,，并通過單獨(dú)的閥門分開,，以便于過演裝置的維護(hù)5.高純氣體管道的連接采用無縫焊接。接頭配件只能在連接到閥門或調(diào)節(jié)裝置時(shí)使用,。

6,、每個(gè)實(shí)驗(yàn)室應(yīng)有單獨(dú)的控制閥、減壓閥和壓力表,7通向工作臺(tái)的氣體管道應(yīng)安裝單獨(dú)的控制闊,。工作臺(tái)應(yīng)設(shè)置均勻排放各種氣體的控制閥,。建議在氨氣管道前安裝一個(gè)氣體凈化裝置8、每廈15米左右,，氣體管道需妻一個(gè)支架,。此外，根據(jù)氣體管道的查曲半徑,，設(shè)置合活的支架位置,，必須支持所有查曲。做氣管道安裝管道的所有支架均應(yīng)鍍鋅防腐處理,。

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