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激光干涉儀以光波為載體,,其光波波長可以直接對米進(jìn)行定義,,且可以溯源至國家標(biāo)準(zhǔn),是迄今公認(rèn)的高精度,、高靈敏度的測量儀器,,在高端制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
SJ6000激光干涉儀集光,、機(jī),、電、計算機(jī)等技術(shù)于一體,,產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,,其壽命可達(dá)50000小時;采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),,可實(shí)現(xiàn)高精度,、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,;采用高速干涉信號采集,、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),可實(shí)現(xiàn)**4m/s的測量速度,,以及納米級的分辨率,;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償,;采用高性能計算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),支持中文,、英文和俄文語言,,友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、簡潔化的記錄管理?
SJ6000激光干涉儀具有測量精度高,、測量范圍大、測量速度快,、**測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),,結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,,可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度,、直線度,、垂直度、平行度,、平面度等幾何參量的高精度測量,。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,可實(shí)現(xiàn)線性位移,、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,,以及進(jìn)行位移、速度,、加速度,、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析,、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析,、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
精度高
SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,,其光波可直接對米進(jìn)行定義,。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度,、抗干擾能力強(qiáng),、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,,可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償,;干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計,避免干涉鏡受熱影響,,**干涉光路穩(wěn)定可靠,。
功能廣
n 可實(shí)現(xiàn)線性、角度,、直線度,、垂直度、平行度,、平面度,、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量;
n 可檢測數(shù)控機(jī)床,、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度,、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角,、扭擺角,、直線度,、垂直度等;
n 可實(shí)現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn),;
n 可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表,,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);
n 具有動態(tài)測量與分析功能,,包括位移分析,、速度分析、加速度分析,、振幅和頻率分析等,,可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析,、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,;
n 支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
軟件強(qiáng)
n 友好的人機(jī)界面,;
n 豐富的應(yīng)用功能模塊,;
n 向?qū)降牟僮髁鞒蹋?span>
n 簡潔化的記錄管理;
n 支持中文,、英文和俄文界面,;
支持企業(yè)專屬模板定制。
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