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六氟化硫是一種無(wú)色、無(wú)臭,、無(wú)毒、不燃的惰性氣體,,它的分子量為146.07,,在20℃和0.1 MPa時(shí)密度為6.1kg/m3,約為空氣密度的5倍,。六氟化硫在常溫常壓下為氣態(tài),,其臨界溫度為45.6℃,三相點(diǎn)溫度為-50.8℃,,常壓下升華點(diǎn)溫度為-63.8℃,。六氟化硫分子結(jié)構(gòu)呈八面體排布,鍵合距離小,、鍵合能高,,因此其穩(wěn)定性很高,在溫度不超過(guò)180℃時(shí),,它與電氣結(jié)構(gòu)材料的相容性和氮?dú)庀嗨啤?
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