低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài),、氣態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài),，當(dāng)外加電壓達(dá)到氣體的 放電電壓時，氣體被擊穿,，產(chǎn)生包括電子,、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體,。放電過程中雖然電子溫度很高,，但重粒子溫度很低，整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài),，所以稱為低溫等離子體,。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用,，使污染物分子在極短的時間內(nèi)發(fā)生分解,，并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)以達(dá)到降解污染物的目的。

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