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該真空導入器產品采用高品質的焊接波紋管,，**十萬次以上的循環(huán)使用,，軸向驅動力可達到150N，在**超高真空密封的同時,，通過手動調節(jié)手輪（或電機驅動），實現(xiàn)高精度的直線驅動,，位置控制,，安裝角度自由；根據(jù)客戶要求,，可以制作各種驅動長度,。有波紋管內置型、波紋管外置型和中空型三種結構,，客戶根據(jù)使用要求選用,。
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主要參數(shù) |
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適用范圍： |
105～5x10-7Pa |
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真空漏率： |
≤1x10-10Pa.m3/s |
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適用溫度： |
-30～300℃ |
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驅動方式： |
手動 |
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驅動方向： |
直線 |
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安裝狀態(tài)： |
任意方向 |
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連接方式： |
CF法蘭或客戶 |
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主要零件材料 |
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焊接波紋管 |
316L |
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刻度圓柱 |
304 |
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進給刻度盤 |
LV12陽極化 |
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訂貨型號 |
接口法蘭 |
驅動距離(mm) |
精度(mm) |
L（mm） |
R/E(mm) |
A(mm) |
B(mm) |
C(mm) |
D(mm) |
K(mm) |
|
LMF-N-CF35-50 |
CF35 |
50 |
0.02/0.01 |
130 |
56/106 |
34 |
70 |
47 |
M4X10 |
24 |
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LMF-N-CF35-100 |
CF35 |
100 |
0.02/0.01 |
180 |
76/176 |
34 |
70 |
47 |
M4X10 |
24 |
|
LMF-N-CF35-150 |
CF35 |
150 |
0.02/0.01 |
230 |
96/246 |
34 |
70 |
47 |
M4X10 |
24 |
根據(jù)客戶要求，可以制作各種驅動長度
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訂貨型號 |
接口法蘭 |
驅動距離S(mm) |
精度(mm) |
L （mm） |
A (mm) |
B (mm) |
C (mm) |
MD x K (mm) |
|
LMF-S-CF16-50 |
CF16 |
50 |
0.02/0.01 |
184 |
11 |
34 |
45 |
M5x12 |
|
LMF-S-CF16-100 |
CF16 |
100 |
0.02/0.01 |
255 |
11 |
34 |
45 |
M5x12 |
|
LMF-S-CF35-50 |
CF35 |
50 |
0.02/0.01 |
156 |
12 |
70 |
47 |
M6x12 |
|
LMF-S-CF35-100 |
CF35 |
100 |
0.02/0.01 |
230 |
12 |
70 |
47 |
M6x12 |
|
LMF-S-CF35-150 |
CF35 |
150 |
0.02/0.01 |
310 |
12 |
70 |
47 |
M6x12 |
根據(jù)客戶要求,，可以制作各種驅動長度
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訂貨型號 |
接口法蘭 |
驅動距離(mm) |
精度(mm) |
R/E（mm） |
A(mm) |
B(mm) |
C(mm) |
D(mm) |
K(mm) |
|
LMF-Z-CF16-50 |
CF16 |
50 |
0.02 |
83/133 |
64 |
195 |
100 |
16 |
20 |
|
LMF-Z-CF16-100 |
CF16 |
100 |
0.02 |
105/205 |
64 |
265 |
100 |
16 |
20 |
|
LMF-Z-CF35-50 |
CF35 |
50 |
0.02 |
85/135 |
101 |
190 |
122 |
35 |
15 |
|
LMF-Z-CF35-100 |
CF35 |
100 |
0.02 |
105/205 |
101 |
260 |
122 |
35 |
15 |
|
LMF-Z-CF50-50 |
CF50 |
50 |
0.02 |
90/140 |
116 |
192 |
151 |
50 |
15 |
|
LMF-Z-CF50-100 |
CF50 |
100 |
0.02 |
110/210 |
116 |
262 |
151 |
50 |
15 |
|
LMF-Z-CF63-50 |
CF63 |
50 |
0.02 |
101/151 |
150 |
218.5 |
195 |
63 |
20 |
|
LMF-Z-CF63-100 |
CF63 |
100 |
0.02 |
121/221 |
150 |
289 |
195 |
63 |
20 |
|
LMF-Z-CF100-50 |
CF100 |
50 |
0.02 |
112/162 |
195 |
250 |
256 |
100 |
21 |
|
LMF-Z-CF100-100 |
CF100 |
100 |
0.02 |
132/232 |
195 |
320 |
256 |
100 |
21 |
根據(jù)客戶要求,，可以制作各種接口及驅動長度
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